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半导体行业介绍
半导体用阀门
● 工况要求:
衬氟阀门需要高洁净度,低元素析出;金属阀门内表面需要高光洁度;流道无死角;真空调节阀要求高真空度,波纹管密封,调节相应速度快精度高,无死角; 洁净度有EP BA AP 3个等级。
认证要求
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